固态的微波源使用强制气冷的冷却系统，功率覆盖100W-1000W，常见的为915MHZ的微波源和2.45Ghz微波源。使用的高频晶体管和固态微波技术，固态微波源拥有卓越的性能。固态微波源智能微波系统与动态频率调整功能相结合，使900 -930 MHz (2400 to 2480 MHz)范围内的反向功率比最小化。与其它系统不同的是，固态微波源是根据客户的需要来控制输出平率，设定值为1MHZ分辨率。