净化空调机组一般可分为集中式和分散式两种类型。  集中式净化空调系统是净化空调设备（如加热器、冷却器、加湿器、租中效过滤器、风机等）集中设置在空调机房内，用风管将洁净空气送给各个洁净室。  分散式净化空调系统是在－般的空调环境或低级别净化环境 中，设置净化设备或净化空调设备，如净化单元、空气自净器、层流罩、洁净工作台等。随 着科学技术的发展，尤其是半导体集成电路制造技术的迅猛发展，对生产环域的空气洁净度 要求越来越高．现今的超大规模集成电路生产要求控制空气中的 0.051.tm的微植浓度和分子 级污染物，因此洁净军的送风方式发生了很大变化，在半导体芯片工厂或类似生产过程要求 高洁净度的洁净厂房中，其净化空调系统采用循环空气方式，其循环方式主要有集中方式、 隧道方式、风机过滤单元（ FFU）方式和微环境＋开放式措净室方式等。这些送风方式既可 满足高清净度要求，还可以不同程度地降低能量消艳。