真空腔：真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。复杂的真空腔体通常需要定制，即针对应用终端进行专门的设计和制作。真空腔中可以放置相应的真空直线平台或真空转台实现多维的

真空转台：真空转台是由英国AML生产的D35.1的真空步进电机以及二 硫化钼镀层的不锈钢台面组成，转速可以达到36°/s，整步分别率0.003°，承载10kg，真空度1x10-8Pa，烘烤温度200℃

真空旋转平台：真空转台是由英国AML生产的D35.1的真空步进电机以及二 硫化钼镀层的不锈钢台面组成，转速可以达到36°/s，整步分别率0.003°，承载10kg，真空度1x10-8Pa，烘烤温度20

真空离子规：真空计（Vacuum Gauge），是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行 气压的测量。英国AML公司生产研发的真空计可以测量高真空以及低真空不同阶段的

真空电极：英国AML公司真空电极feedthrough是18路真空电极，每一个针脚是通过玻璃压缩密封相比陶瓷密封更经济、更稳定。

圆柱音圈电机：北京星微自动化科技有限公司圆柱音圈电机即直线音圈电机，推力从0-5000N，行程从0-100mm。磁利用率最 高，单位体内相比矩形音圈电机，摆角音圈电机出力要好一些，应用高频直线运动、半

矩型音圈电机：矩形音圈电机是音圈电机的一种，推力从0-1000N，行程从0-200mm可以设计，推力和行程可根据客户要求定制，可以实现高低温以及耐真空环境的应用。矩形音圈电机近年来应用于主动隔震平台较

摆角音圈电机：旋转音圈电机采用矩型音圈电机系列产品的技术，将矩形系列产品予以弯曲，以形成一定的角度定位，满足高性能的角度摆动。可以提供摆动角度90度，扭力达50 N-m。应用精密光学定位、高频反射镜、

耐辐照摄像机：耐辐射摄像机应用于核工业检测以及核物理实验，镜头可以支持水下耐辐射或者真空防辐射等复合工况，最 高可以达到2MGy的耐辐照强度。在核工业、核电站以及核物理实验中广泛应用。

上海鸣志步进电机丝杠滑台：电动滑台是工业自动化领域中能够实现直线运动的一种传动装置，工业上又常称为电缸、线性模组等。按照传动方式不同一般分为：滚珠丝杠传动式，同步带传动式和螺纹丝杠传动式。其使用范围广

真空耐辐照步进电机：真空耐辐照步进电机，可以支持在真空度1x10^10mbar以内使用，温度为-65°~+175℃，防辐射等级是1x10^6 Gy。电机型号及参数：型号

真空步进电机运动滑台：真空步进电机运动滑台的真空度可以达到1x10-8Pa,行程可达到25-650mm,精度可达0.1um,烘烤温度可达200℃,防辐射可以到10*6Gy,也可以定制真空电机平台，可以

真空高低温电机：本公司生产的真空高低温电机的温度范围可达-196℃~+200℃，真空度可以到1x10-10mbar.航天五院拥有成功的案例。电机型号及参数：型号

真空核辐射步进电机：英国AML生产的真空防辐射步进电机可以支持在真空度1x10^10mbar以内使用，温度为-196°~+175℃，防辐射等级是1x10^6 Gy

防辐射伺服电机：北京星微自动化科技有限公司代理的真空伺服电机，辐射度可达1x10^6Gy 扭矩可达300Nm。