产品用途：主要用于半导体、太阳能电池生产中的PECVD、等离子体清洗等设备。可用于间歇式脉冲放电工作模式。

技术特点：
储能低，不超过1MJ/KW；
功率密度大；
负载范围宽，分七档负载匹配调节，负载适应
范围宽；
正弦波输出，谐波小；
优异的水冷式设计；
间歇式脉冲功率输出；
具有过压、过流、开路及短路等完善监控措施
与保护功能；
优良的电流、电压打弧控制能力；
成膜质量好；
实现功率、电流及电压等控制方式。

电气规格：
电压频率：45-65HZ；
输出频率：40KHZ，±0.01%；
电源效率：0.85全功率输出；
功率因素；0.90全功率输出；
输出功率：10KW；
负载匹配：七档，各档位10KW。

主要参数：
输出功率：500W-10KW连续可调；
输出频率：40KHZ；
输出最 大电压有效值：1100V；
负载阻抗范围：9Ω-93Ω；
功率稳定度：优于1.0%；
输入电压：380V+10%，-15%，三相接地（无中线）。

物理规格与安装：
外形尺寸：长635mmX宽482mmX高177mm；
重       量：40kg；
安装方式：19英寸机架；
输出接头：双输出，从接线盒引出并带有保护盖；
输出电缆：12-18平方毫米
交流输入方式：4线DIN接头
用户口连接器：D型pin25，母接头，RS485通信接口；
冷却水接头：3/8英寸的NPT母接头。