设备特点：

石英舟 调角机构可根据石英舟需要调节倾角。一般为3度 四节皮带独立运动，互补干涉， 在靠近石英舟的时候可以慢速运行，不至于撞坏硅片而且不影响整机的工作效率。 机器自带入蓝导引装置和校正机构， 可以装入蓝前可能存在的跑偏等现象自动校正 机器配在伸缩皮带装置， 使硅片能够很顺畅的进入石英舟 机器自带缸蓝托架，可根据需要折叠起来， 节省空间 可根据工艺需要完成自动翻片， 自动叠双片， 背靠背叠加， 自动装双片的功能。