QT-100H-SYZD/QT-200H-SYZD应用于将扩散后石英舟内的背靠背硅片导出并两两分开，然后分别入塑料硅片承载盒中，同时将未扩散的硅片承载盒中取出，然后背靠背叠加放入石英舟内，每一槽放两片，待扩散面朝外

设备特点：

1上下料一体化设计节约了工人搬运石英舟及塑料硅片承载盒的劳动强度，篮具在上下料的过程中紧凑相连，循环利用，提高

整机的工作效率。所有入篮及入石英舟结构均采用耐磨耐高温自润滑结构稳定之材料导向。高精密叉子托附，依靠硅片自身重

力入篮或入舟。大大降低了碎片率以及对载具的高精度要求

2机器重要环节采用激光传感器精准定为，一旦运转偏离位置，机器自动补偿矫正。既提高了稳定性，又提升了速度

3真空吸盘采用精密耐高温陶瓷结构，不变形、无污染、娇片叉子采用高精度复合材料。