大型等离子简介：适用于PCB生产行业，此外应用于处理大型及复杂结构的工件。

真空系统泵采用无油前级泵加罗茨泵泵组结构，即保证抽速，又保证腔体洁净度，同时无油泵例如爪式干泵易维护、噪声小、抽速快，相对于部分耐腐蚀的油泵来说，其维护以及运作成本大大降低，同时该泵是适合于强氧化气体及含氟离子的特殊环境下工作的，大大提高泵体的寿命，罗茨泵的使用，是为在真空度低于1000帕时提高抽速，使之更快达到工作压强，既分担了单一泵体的工作压力，又提高了效率。

自动控制系统，采用PLC进行全程控制，性能稳定，功能齐全， 人机界面友好，采用12.1或10.4英寸触摸屏；或采用PC加显示器进行控制，可设定工艺过程参数，可对大量实时数据进行采集记录、打印，还具备事件报警，配方储存，数据报表等强大功能，可用PID模式自动控制真空度、极板温度等。

供气系统，采用5路气体质量流量计，分别用来控制不同的气体，通过一定的技术处理，使用户在计算机操作平台上可以方便的置入工艺生产中所需的气量。另外我们的供气管道采用了进口的高精度抛光不锈钢管，内壁光滑、气阻小，气体的流量更加稳定可靠。

电极系统，该设计对等离子激发