等离子清洗工艺流程图

产品技术规格介绍

QT-60-PSP中型等离子清洗机规格

主要技术参数：
1) 整机外形尺寸（约）: 900W×1700H×1000D（mm） 外观喷塑处理；
2) 反应仓尺寸： W450mm×H300mm×D450mm；
3) 电源：主系统电源: 380×(1±10%)V(AC)  50Hz～60Hz  三相五线
4) 等离子体频率：13.56MHz；
5) 射频电源功率：（0～600）W连续可调；
6) 设备功率：≤3kW
7) 控制方式：采用包括触摸屏人机界面的PLC控制，操作方式包括自动模式和手动模式。在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理，可同时存储100组不同的配方。使用时只需要将相应配方号调出即可。设备参数分级管理，设备操作员、工艺人员、维护人员使用不同口令管理不同参数，提高设备安全性。手动模式用于实验工艺以及设备维护维修。
8) MFC质量流量计控制（标准配置2路）
9) 气体流量：(0～200)ml/min （标准气压,0℃）
10) 工作气体(氧、氩等)接口压力：≤0.45MPa
11) 压缩空气（启动气动角阀）接口压力：0.45Mpa
12) 净化冷却气体（氮气）接口压力：0.45MPa
13) 设备工作节