DHHF-1热丝等离子体薄膜沉积实验装置 主要技术参数： ◆真空腔室尺寸：Φ350×H500mm； ◆真空腔室结构：立式前开门结构，后置抽气系统，双层水冷； ◆真空系统：扩散泵+机械泵+维持泵； ◆极限真空：5×10-4Pa； ◆真空测量方式：数显复合真空计、薄膜压力计； ◆基片台尺寸：Φ100mm； ◆基片台升降：80～100mm； ◆基片台转速：0～10转/分（可调）； ◆热丝温度：2000℃～2500℃； ◆衬底温度：600℃～1000℃； ◆制膜种类：金刚石厚膜、类金刚石膜、氮化硅和碳化硅膜等； ◆工作电源：AC380 V，50Hz；整机功率5KW。电源型式：热丝电源； ◆真空控制方式：手动按钮控制； ◆工艺气体控制方式：4路工艺气体流量控制及显示系统； ◆报警及保护系统：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施。