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反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨

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潍坊华美精细技术陶瓷股份有限公司

  • 联系人:李雅新
  • 官网地址:www.wf-hm.com
  • 经营模式:制造商
  • 主营产品:碳化硅陶瓷板,碳化硅陶瓷辊棒,喷火嘴,热辐射间接加热系统,陶瓷复合管件
  • 所在地:潍坊市坊子区北大营街3号院内
  • 供应产品:19
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产品详情

Product details

反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨

产品概要: 悬臂桨,是半导体晶圆装载系统的关键部件。KCE®系列反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨性能稳定,在高温环境不变形,晶圆装载量大,适用于机器人自动装载和搬运系统,且其截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。加之与LPCVD涂层的热膨胀系数相近,应用于LPCVD,可极大地延长维护清洗周期,并大幅减少污染物。

反应烧结碳化硅陶瓷悬臂桨

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  • 联系人姓名:李雅新
  • 联系人职位:客服专员
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  • 详细地址:潍坊市坊子区北大营街3号院内