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反应烧结碳化硅悬臂桨

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潍坊明亮精细陶瓷有限公司

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  • 主营产品:山东碳化硅横梁,山东碳化硅辊棒,山东碳化硅异形梁,山东碳化硅喷火嘴,碳化硅窑车结构件
  • 所在地:山东省潍坊市昌乐县利民街147号28号楼
  • 供应产品:31
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Product details

反应烧结碳化硅悬臂桨

反应烧结碳化硅悬臂桨,是半导体晶圆装载系统的关键部位。反应烧结碳化硅悬臂桨性能稳定,在高温环境下不变形,晶圆装载量大,适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂桨截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。悬桨与LPCVD涂层在热膨胀系数相近,应用于LPCVD,极大地延长了维护清洗周期,并大幅减少污染物。

反应烧结碳化硅悬臂桨

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