大型激光刻蚀机的应用领域有哪些？

发布时间：2020-06-24

光伏太阳能电池行业，对激光刻蚀机的工艺要求通常能够有限满足加工效率要求以及保证隔断对材料的导通性，无残留、无短路现象，对线宽的要求不高，保证在0.1mm以下的线宽就可以，因而部分材料的蚀刻可以选择成本更加低廉的Q开关光纤激光刻蚀机。

主要适用领域是电子行业，如传感器蚀刻，通常也可用于激光调阻，常见的有铜薄膜刻蚀。紫外激光刻蚀机的优势在于刻蚀的线条更加精细，同时不伤及薄膜，能够有效保证导通性及阻值的要求，并能根据需求随时进行调整。激光刻蚀机的主要构成有激光器、XY直线工作台、驱动器、工控机、高速振镜、聚焦透镜、系统控制软件、定位系统、抽尘系统、真吸附空系统、外光路、机台等，能够有效满足大尺寸与高精度拼接加工的需求。根据不同的加工需求，组合配置光学及运动控制系统，以元禄光电为例，可采用纳秒级别红外光纤（包括可调脉宽激光器）、515/532nm绿光激光器、355nm紫外激光器，也可采用超短脉冲皮秒或飞秒激光设备进行加工。标准配置600*600mm有效加工幅面，最大可做到3200*2400mm加工幅面，可满足触摸屏、光伏太阳能电池、以及其他导电薄膜或导电玻璃材料的刻蚀加工。

石墨烯、油墨、钙钛矿电池P2刻蚀以及碳粉刻蚀等。优势在于对材料的热影响更小，因此刻蚀的线宽相比较纳秒紫外激光刻蚀机更加精细，加工效果更好，能对多层材料进行蚀刻，如钙钛矿电池等。

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