Diener等离子清洗机ATTO10.5 升的 等离子体实验室设备 ATTO  配有手动型、PC 和 PCCE 控制系统，主要用于以下领域：小批量生产、分析 (REM, TEM)、研究和开发部门、考古、纺织技术、塑料技术。技术数据：外壳：宽 425 mm、高 275 mm、深 450 mm。宽 525 mm、高 257 mm、深 450 mm。真空腔室：玻璃（硼硅或石英玻璃）材质∅ 211 mm，长 300 mm。装载件：产品支架：铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃。腔室容积：约 10.5 升。气体供给：2个由针型阀控制的气体通道、MFC。发生器：40 kHz/200 W、13.56 MHz/300W。真空泵：抽吸性能：≤3 m3/h。部件支架：1个产品支架。控制系统：手动、PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)、PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)、旋转开关。Diener等离子清洗机ATTO