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​干式尾气处理器批发

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认证资料 Certification Data

智程半导体设备科技(昆山)有限公司

  • 联系人:杨经理
  • 官网地址:www.kszcauto.cn
  • 经营模式:制造商
  • 主营产品:中央供药系统销售,干式尾气处理器,水洗式尾气处理器,江苏动卧式甩干机,自动卧式甩干机
  • 所在地:江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房
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产品详情

Product details

​干式尾气处理器批发干式尾气处理器主要通过吸附剂来吸附半导体工艺智程中所产生的尾气,从而使其达到国家排放标准。吸附筒中的吸附剂能有效将半导体制程中设备中产生的有毒腐蚀气体吸附,所产生的压差由压力表反馈至控制系统,控制系统做出反应,自动切换至副吸附筒,从而将有毒腐蚀气体吸收处理。 吸附气体包括SiHCl3, B2H6,PH3,H2S, CO, CO2, SO2, CS2, CL4, H2CCL2 丙酮,乙醇,苯,甲苯,苯乙烯,恶臭物质等。处理效率非常高,处理效率可达到98%。​干式尾气处理器批发

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  • 联系人姓名:杨经理
  • 联系人职位:总经理
  • 联系人手机:13776322025
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  • 详细地址:江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房