微型单温区CVD系统销售微型单温区CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备，该设备在常规产品上进行了一系列的改进，包括：供气系统集成、真空系统集成等。体现出体积小、操作方便、智能化程度高等特点。微型单温区CVD系统Φ60*1000mm （Φ30/50/80/100mm可选）1200℃（短期）1100℃ 炉管两端配有快开式密封法兰 至大承载量：1000Lbs；抽气速率:10m³/h极限真空度：10-1Pa双极旋片机械泵：极限10^-1Pa分子泵机组：极限10^-3 Pa 双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C；高纯状氧化铝纤维绝缘层，节约能源；炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命。微型单温区CVD系统销售