离子束加工的主要应用

离子束加工的主要应用  离子束加工的应用领域正在日益扩大、不断创新，目前用于改变零件表面尺寸和表面物理、力学性能的离子束加工有：刻蚀加工、离子镀膜加工等。 1、刻蚀加工的定义及具体应用领域  1.1刻蚀加工的定义  离子刻蚀是从工件上去除材料，是一个撞击过程，离子束刻蚀工艺的一个很重要的物理参数是刻蚀速率，它表征着每一个入射离子打出的原子数，刻蚀速率与离子束能量、束流大小、离子束轰击表面的入射角以及被加工材料的原子结构、晶向等许多因素有关，离子束能量、束流越大，刻蚀速率越大。 1.2刻蚀加工的应用领域 刻蚀加工一方面可用于加工陀螺仪空气的沟槽，分辨率高，精度、重复一致性好，也可用于加工费球面镜，离子束刻蚀加工应用的另一方面是刻蚀高精度的图形，如集成电件、磁泡器件、光电器件和光集成器件等，离子束刻蚀系统的优点在于：分辨率高，可得小于10nm的特征尺学掩膜；直接离子移植。 2、离子镀膜加工的定义及具体应用 2.1离子镀膜加工的定义 离子镀是在真空蒸发镀和溅射镀膜一种镀膜新技术，将各种气体放电方式引入到气相沉积领域，整个气相沉积过程都是在等离子体进行的，镀膜时，工件带负偏压，工件始终手高能离子的轰击，具有形成膜层与膜基结合力好、膜层的绕度性好、膜层组织可控参数多、膜层粒子总体能量高，容易进行反应沉积，可以在较低温度下获得化合物膜层等优点。 2.2离子镀膜加工的具体应用 离子镀可镀材料范围广泛，不论金属、非金属表面上均可镀制金属或非金属薄膜，各种合金、化合物、或某些合成材料、半导体材料、高熔点材料亦均可镀覆，离子束镀膜技术可用于镀制润滑膜、耐热膜、装饰膜和电气膜等，离子束装饰膜，离子束镀膜代替镀铬硬膜，可减少镀铬公害，提高刀具的寿命。