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射频离子源的组成及特性

2020-11-16 13:10:30来源:一大把网站

射频离子源的组成:

  1.基础风冷风扇

  2.网格((网格级别))模块

  3.射频线圈(射频铜管)

  4.石英杯

  5. LFN 2000(细丝)中和器

射频离子源系统

  射频离子源特性:

  1.大面积射频离子源。

  2.提供高密度离子束以满足高科技要求。

  3.采用射频技术产生离子,无需电离灯丝,加工时间更长,更适合长工艺要求。

  4.离子束电流:> 1500 mA

  5.离子动能:100-1200V

  6.中和器:LFN 2000

  7.采用自动控制器,一键自动匹配。

  8. RF Generator可以根据过程选择离子浓度,例如:1kW2kW

  9.离子源采用模块化设计,便于清洗/维护/保养/安装。

  10.格栅由钼和石墨制成,坚固耐用。

  11.进气可以是ArKrXeO2N2H2等。

以上就是常州鑫立离子技术有限公司小编收集的内容,如有需要请与我们联系。公司是以一家专业从事高端离子源技术、离子束加工开发的创新型企业,公司具有射频离子源系统、离子束加工技术、离子束加工、射频离子源整机装备制造和应用的研发与设计能力,目前已与多家科研究院所及国内知名镀膜设备生产、应用公司进行合作。公司于20186月份推出了完全自主研发的射频离子源系统,填补了国内在高能射频离子系统的空白,促进国内光学镀膜以及高端离子加工产业的产品升级和整体竞争力提升。也可称之为“离子源供应商、离子源厂家”。


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