射频离子源的组成及特性

射频离子源的组成：

  1.基础风冷风扇

  2.网格（（网格级别））模块

  3.射频线圈（射频铜管）

  4.石英杯

  5. LFN 2000（细丝）中和器

  射频离子源特性：

  1.大面积射频离子源。

  2.提供高密度离子束以满足高科技要求。

  3.采用射频技术产生离子，无需电离灯丝，加工时间更长，更适合长工艺要求。

  4.离子束电流：> 1500 mA。

  5.离子动能：100-1200V。

  6.中和器：LFN 2000。

  7.采用自动控制器，一键自动匹配。

  8. RF Generator可以根据过程选择离子浓度，例如：1kW或2kW。

  9.离子源采用模块化设计，便于清洗/维护/保养/安装。

  10.格栅由钼和石墨制成，坚固耐用。

  11.进气可以是Ar，Kr，Xe，O2，N2，H2等。

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