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离子源厂家:离子源中和器的分类和功能

2020-11-19 11:38:42来源:一大把网站

鑫立离子源厂家推荐离子源中和器的分类和功能

      中和器向由离子源引出的离子束发射电子,以中和电子束电流和电子束电荷。 离子源栅格引出带正电的离子束。 为了避免电荷积聚在目标或处理表面上,必须中和离子束电流。 为了减少离子束中的空间电荷以继续提取离子并减小羽流扩散角,必须中和离子束电荷。 因此,必须在放电室和栅极的外部安装中和器,以向离子束发射等于束流的电子电流。

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      根据工作方式,可将离子源中和器分为三种:外部热阴极中和器,浸入式热阴极中和器和等离子桥中和器 前两种类型将热阴极发射体放置在离子束的内部和外部。 当放置在室外时,中和器需要施加较高的负耦合电压。 由束状离子和中性原子进行电荷交换而产生的离子将轰击并更严重地溅射。 当放置在内部时,尽管耦合电压很低,但它会受到电子束轰击而直接溅射。 这两种类型的中和器的使用寿命非常短,只有几十个小时。 等离子体桥中和器使用带有推进剂气体的空心阴极在放电过程中同时生成电子和离子。 当阴极受到反轰时,大多数离子与电子结合形成气体。 少量离子与电子一起传输到离子束。 这些离子可以中和大多数电子形成的空间电荷,并充当电子进入离子束的桥梁。 降低耦合电压,并使中和器远离子光束。 等离子桥中和器的使用寿命可以达到10,000 h以上,从而大大提高了离子源的维护周期和使用寿命。


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