气冷罗茨泵的一些知识点
气冷罗茨泵一般以真空单元的形式出现。由于普通罗茨泵不能在常压和高压下启动并直接排放大气,因此需要配备前级泵。但并不是所有的罗茨泵都需要前置泵才能启动,比如气冷罗茨泵、湿式气冷罗茨泵、多级气冷罗茨泵。
普通罗茨泵只能在6000Pa左右甚至更低的压力下启动,并且只能在某些环境下才能稳定的大抽速。由于普通罗茨泵没有内压缩特性,气体排放是通过外压缩实现的。过大的压差和在高压下工作会使真空泵负荷过高,使转子在压缩过程中产生的过多热量无法散发,会发生过度膨胀,导致转子与泵腔之间的间隙消失,进而被卡住。
针对这一问题,气冷罗茨泵利用冷却气体直接对转子进行冷却,从而降低转子的温度以及转子与泵腔的温差,避免转子过度膨胀,实现高压差高压缩比下的运行。因此,可以在大气压下单独使用,也可以串联几个单元来提高真空度。
气冷罗茨泵与普通气冷罗茨泵在结构和原理上没有太大区别。主要布置连接到泵出口的冷却器,冷却气体被引入泵体的两侧以冷却转子。采用这种结构,气冷罗茨泵可以在大气压下直接启动,独立工作。当空气直接排出时,气冷罗茨泵的极限压力约为1 10 4 Pa,串联可获得下限压力。工作压差可达88千帕左右。
罗茨泵,以其发明者的名字命名,是指一种可变容积真空泵,具有两个反向同步旋转的叶片式转子。转子之间以及转子和泵壳内壁之间有一个小间隙,彼此不接触。它是真空镀膜机获得高真空的主要设备。对于在压差下运行的罗茨泵,不建议在冷却前直接在极限压力下运行。在极端压力下,由于真空泵旋转过快,零气体通过量不会通过气体或外壳表面散发任何热量。由于温度突然升高,转子与机壳之间的气隙过小,泵就会停止转动。在严重的情况下,这将导致真空泵完全失效。
气冷罗茨泵不仅可以在大气压下直接工作,而且在高压阶段具有稳定的抽气速度曲线,可以大大缩短粗抽阶段的抽气时间。与其他直接排放空气的油封泵相比,气冷罗茨泵在高压条件下具有良好的节能特性,是非常优秀的设备。
版权与免责声明
1、一大把网站对已注明来源的文章或图片等稿件进行转载是出于传递更多信息之目的,并不意味着赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。
2、本网转载作品均注明来源,如涉及作品内容、版权等问题,请及时与本网联系,我们将在第一时间删除内容。
3、其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品出处,并自负版权等法律责任。
更多版权相关条款请查看本站“版权声明”