镀膜机用电气枪工作原理

镀膜机用电气枪的工作原理，由于电子枪是产生电子束的部件，由阴极、栅极和阳极组成，加速电压为负高压，阴极和栅极处于同一个负电位，阳极接地，阴极被交流电流加热，发射出热电子，镀膜机用电气枪电子受到栅极抄极电位的影响， 从而在阳极加速电压下形成会聚电子束，电子束在磁场的作用下进一步聚焦并偏转270度，射入装有待镀zd薄膜材料的坩埚中，我们今天介绍两种镀膜机用电气枪的工作原理。一、镀膜机用电气枪-皮尔斯型电子枪的工作原理目前，世界各国的电子直线加速器电子枪大多采用皮尔斯型电子枪。这种镀膜机用电气枪光学系统的主镀膜机电子枪的工作原理包括阴极、阳极和聚焦电极，其中有些还有栅极。通常聚焦电极的电位等于或接近阴极电位，阳极为地电位，阴极加负脉冲高压。阴极由交流电源供电的加热器(灯丝)加热和烘烤。当阴极加热到一定温度时，有热电子发射，在阳极和阴极之间的加速电压作用下，形成电子束飞向阳极。电子束在聚焦电极的作用下飞向阳极孔，然后通过阳极孔进入加速系统。二、镀膜机用电气枪-栅控枪的工作原理镀膜机用电气枪-栅控枪工作方式，一种栅控枪:在结构设计上将二极管枪的聚焦电极与阴极绝缘，适当修改聚焦电极的设计，使其在施加于阴极的偏置电压的绝对值(-Ego)尽可能低的情况下实现对电子束的截止。一般经验是，当p < 0.5 μ pu，炮压缩比较小时，|— ego |/VA可以在小于25%的条件下实现栅控枪的设计。第二种栅控枪:是在阴极中心与阴极绝缘并垂直于阴极表面的小针。以此针为控制电极，其截止电压可以大致等于或略低于栅控枪的截止电压。而对于栅控枪，其阴极和针栅在结构设计上相对复杂，目前国内很少使用，而俄罗斯在这方面有成熟的技术，他们可以在针栅上涂一层防发射材料来降低栅发射。但这种控制电极用于强离子反冲加速管是否可行，还有待实践证明。第三种栅控枪是在二极管枪的等电位面上，离阴极1%-3%处安装一个栅极。当栅极应用于阴极时，原二极管枪的电位分布变化不大。该栅控枪的截止偏压可以设计得非常低。这将有利于栅控电源的制造。通过皮尔斯电子枪和栅控枪的工作原理，介绍了镀膜机用电气枪的工作原理。相信大家已经有了一定的了解。目前电子枪的应用很多，对日常生活有很大的帮助。