离子束加工技术你知道是什么吗

 离子束加工技术是一种使用离子束对材料进行成形或改性的加工方法，是一种原子级加工技术。 离子注入，离子沉积和强脉冲离子束材料改性等离子束加工技术已在工业中得到广泛应用。 当前，正在研究和开发一些新的离子束处理技术。

  离子束处理技术是1970年开发的一种特殊处理方法。 它具有加工精度高，易于精确控制，污染少，加工应力和变形最小的特点。 目前，离子束材料表面改性技术的研究，推广和应用已取得了很大的成就。 其标志之一是离子注入微细加工技术的发展。 离子注入微细加工技术已成为VLSI微细加工的关键技术，推动了现代电子技术产业的快速发展。 离子材料改性的工程问题是离子注入会导致材料表面成分和微观结构的变化以及新化合物的沉淀，从而导致材料表面（硬度），摩擦学和化学性质的变化。

  离子束可控地形成材料表面成分的变化，结构变化和温升效应是修饰离子束材料的三把利剑。 其构造的工艺特性远远优于其他工艺。 因此，离子束表面处理具有诱人的研究和应用前景。

  离子束加工技术在相对较低的压力下，从离子源中取出的氨离子以一定角度轰击目标。 由于被轰击离子的能量约为Ikev，因此靶的穿透深度可忽略不计，并且级联碰撞仅发生在靶上。 在具有几个原子厚度的表面层中，大量原子逸出目标材料的表面并成为溅射的粒子，其能量约为10ev。

  由于真空室内的背景气体分子相对较少，因此溅射粒子的自由路径很大。 这些颗粒以直线到达基板并沉积在基板上以形成薄膜。 由于大多数溅射粒子的能量只能穿透并使薄膜致密，因此有足够的能量置换其他粒子，从而损坏了薄膜； 由于背景压力低，该膜污染极低。 而且，冷的基材还防止了由热激发引起的膜中晶粒生长的扩散。

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