谁知道侧腔式真空泵的原理是什么？

先由转动真空泵把系统抽到10-2帕扩散泵油被加热沸腾，以高速从喷出的油蒸汽流不断将系统内气体分子带到泵的侧臂弯管球泡处集结，待气体密度达到机械真空泵的工作范围而被抽出，从而逐渐获得高真空。

泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。

侧腔式真空泵由于多鳍状片的叶轮，侧腔式真空泵产生较低振动的空气吸入，使其广泛适合于要求精密功能的工业应用。 侧腔式真空泵内部由多个圆形空心环组成，其中一半位于泵房的上下侧，另一半装于两面都有通气的口的叶轮的两侧。 当叶轮旋转，每个空心环或气室捕获的空气向外冲，随后由离心力压缩，进入侧腔，然后以螺旋式运动方式进入下一个气室。重复多次后，空气在叶轮的整个旋转过程中被压缩多次。更多内容可以到贝克牌气泵设备了解一下。