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电子净化车间工程有哪些需要注意的事项?

2020-07-06 11:55:16

物 流:1.洁净室内的设备和物料出入口,应独立设置,并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。2.物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。

静压差1、不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa。2、洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa。3、洁净室与室外的静压差应大于10Pa。

净化参数:1.换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。2.压差:主车间对相邻房间≥5Pa平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s。3.温度 冬季>16℃;夏季