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气体纯化器是什么?气体纯化器有什么作用?

2020-08-19 09:20:56

气体纯化器是气体液化过程中的一个重要设备。气体在制冷循环中逐步被冷却降温,在达到冷凝温度以前,气体中的杂质气体将凝结成固体而附着在管道及阀门等处,甚至进入膨胀机,使得液化器停止工作,所以在液化过程中安装纯化器,按杂质的类型采取化学方法或冷冻方法或物理吸附方法去除杂质,达到气体纯化的目的。气体纯化器采用非蒸散型锆铝合金16吸气剂为净化剂,该吸气剂主要吸气相为Zr5AL4、Zr5AL3、Zr3AL2、Zr2AL等多种金属间化合物,活性高,扩散活化能低,当表面吸附着气体时,在一定温度下容易向体内扩散,具有吸气速率高、吸气容量大的特点。激活后在较佳吸气温度范围内能有效的吸收O2、N2、CO2、CO、H2、CH4和水汽等,锆铝合。

气体纯化器定义为从分子水平将气体中的杂质去除的一种产品。大连华邦的大流量超纯氮气纯化器,流量10~20000Nm³/h;气体通过吸附工序,深度脱除气体中的O2、H2O、CO2、CO、H2、NMHC杂质,吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用。多柱交替吸附、再生、可实现对气体的连续纯化。感兴趣的话可多了解一下。

气体纯化器主要应用于①半导体、LED/激光、太阳能光伏行业:器件制备工艺中外延、扩散、MOCVD、离子注入、等离子干刻、光刻、退火、搭接、烧结等工序设备所需的N2、H2、Ar、NH3等气体进行纯化②光纤行业:对保护氮、氦气进行终端纯化③气体行业:对气源气体进行纯化④冷轧行业:对保护氮气进行纯化⑤化工行业:对氮、氢、气/液相烃类脱O2、H2O纯化。