罩式退火炉是什么？

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。

退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。