派瑞林Parylene涂层在微机电、半导体、传感器、换能器应用，有知道的吗？

派瑞林Parylene涂层不仅有优异的介电性能、低的介质损耗和高的介电强度，同时具有优良的机械性能和耐辐射性能。Parylene如此高的介电强度主要归功于Parylene能形成连续无缺陷和无其它填充物的薄膜。Parylene具有优异的尺寸稳定性和低温性能，在几乎不改变器件尺寸的情况下提供1.5KV,2.0KV 甚至更高的耐电压击穿性能。因此，Parylene可用作微机电，微马达的表面处理和绝缘体。使用高纯度的Parylene作钝化层和介质层，能提供安全、稳定的防护。派瑞林Parylene涂层在微机电、半导体、传感器、换能器应用如下：微电子、半导体：使用高纯的Parylene作钝化层和介质层，能提供安全、稳定的防护。传感器和换能器：自动化控制和恶劣环境下使用的传感器、换能器， Parylene涂层防护可以提高环境适应性和可靠性，涂层无针孔，且具有防潮功能。各种传感器传感部件及弯曲管，适用于各种恶劣环境。 

Parylene在传感器领域中的应用，除了作绝缘介质外，更多用作防护材料，它能耐酸、碱和有机溶剂，对水汽和盐雾等恶劣环境有极好的阻隔防护能力，用极薄的涂层提供良好的防护。Parylene能在0.2um厚时就完全没有针孔，5um时就能耐1000V以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能也好，因此在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。我知道就这么多，希望对你有所帮助！

派瑞林Parylene涂层对微电子机械系统的使用环境有很好的相容性和防护性，在微细结构中仍具有优良的电性能和物理机械性能；与其它微细结构材料有很好的相容性；能进行微米级微细制作和加工；所以在微机电、半导体、传感器、换能器有着广泛的应用。