中图仪器SuperViewW国产3D光学轮廓仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。 SuperViewW国产3D光学轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。

技术参数：
部分技术指标 型号 W1 光源 白光LED 影像系统 1024×1024 干涉物镜 标配：10× 选配：2.5×;5×;20×;50×;100× 光学ZOOM 标配：0.5× 选配：0.375×;0.75×;1× 物镜塔台 标配：3孔手动 选配：5孔电动 XY位移平台 尺寸 320×200㎜ 移动范围 140×100㎜ 负载 10kg 控制方式 电动 Z轴聚焦 行程 100㎜ 控制方式 电动 Z向扫描范围 10 ㎜ 主机尺寸（长×宽×高） 700×606×920㎜

使用说明：
产品功能 (1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能； (2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能； (3)测量中提供自动拼接测量、定自动多区域测量功能； (4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四模块的数据处理功能； (5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五分析功能； (6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。 典型结果 表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等） 几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）