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闭管软着陆扩散系统

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认证资料 Certification Data

青岛赛瑞达电子装备股份有限公司

  • 联系人:张瑞礼
  • 官网地址:www.sunred.cn
  • 经营模式:其他机构
  • 主营产品:卧式扩散炉制造,管式PECVD销售,立式氧化扩散炉,石墨烯设备制造,LEC单晶炉
  • 所在地:山东省#山东省青岛市高新区华东路826号(华东路与锦汇路交界处)
  • 供应产品:24
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产品详情

Product details

  采用闭管扩散的方式。碳化硅浆把石英舟放入石英管后再退出石英管,保证整个工艺过程完全不受外界环境干扰。系统整机清洁降低了石英制品清洗的频次。控制终端采用专业工控机配备进口温控仪表、质量流量计及完善的报警功能。超长恒温区,超大装片量。

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  • 联系人姓名:张瑞礼
  • 联系人职位:销售总监
  • 联系人手机:18660296696
  • 企业电话:0532-87666580
  • 详细地址:山东省#山东省青岛市高新区华东路826号(华东路与锦汇路交界处)