Diener等离子清洗机NANO售价Nano低压等离子设备（等离子清洗器）。Nano 等离子系统可以组合成不同功能的机型，例如组合成模块系统。下面是能够与 Nano 等离子系统组合使用的常见选装件的概览：Nano 等离子系统主要应用于以下领域： 分析、 考古、汽车、研究和开发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、微系统技术、传感技术、纺织技术等。基本装备：根据具体组件/选装件，外壳规格会有所不同、腔室容积：根据具体版本 18 - 36 升、供电电源：台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位。气体供给：针型阀、质量流量控制器 (MFC)。真空腔室：圆形不锈钢，带盖（约 ∅ 267 mm，长 420 mm 或长 600 mm）。矩形不锈钢，带铰链的门（约宽 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或 600 mm）。矩形铝材，带铰链的门（约 ∅ 240 mm x 240 mm，长 420 mm 或长 600 mm）圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 240 mm，长 400 mm 或长 600 mm）。圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 240 mm，长 400 mm 或长 600 mm）。装载件：产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃 。电极：单层或多层、RIE。控制系统：半自动型、PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)、PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)、旋转开关。压力测量：Pirani/电容式压力计。计时器：数字式。发生器：100 kHz：功率 500 W。80 kHz：功率 1000 W。13.56 MHz：功率 0 - 100 W；0 - 300 W。2.45 GHz：功率 0 - 600 W。所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型。其它选项：备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。Diener等离子清洗机NANO售价