Diener等离子清洗机PICO售价Pico 等离子设备可以组合可以实现不同的功能，例如组合成模块系统。下面是能够与 Pico 等离子系统组合使用的常见选装件的概览。Pico 系统主要应用于以下领域：分析 (REM, TEM)、考古、汽车、研究和开发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、微系统技术、传感技术、纺织技术。基本装备：根据组件/选装件，外壳规格会有所不同。腔室容积：根据具体版本 4 - 15 升。供电电源：台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位。气体供给：针型阀、质量流量控制器 (MFC)。真空腔室：圆形不锈钢，带盖（约 ∅ 150 mm，长 320 mm 或长 600 mm）。矩形不锈钢，带铰链的门（约宽 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或 600 mm）。矩形铝材，带铰链的门（约 ∅ 160 mm x 160 mm，长 325 mm 或长 600 mm）。圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 130 mm，长 300 mm 或长 600 mm）。圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 130 mm，长 300 mm 或长 600 mm）。装载件：产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃。电极：单层或多层、RIE。控制系统：半自动型、PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)、PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)、旋转开关。压力测量：Pirani/电容式压力计。计时器：数字式。发生器：40 kHz：功率 0 - 200 W；0 -1000 W、100 kHz：功率 500 W、80 kHz：功率 1000 W、13.56 MHz：功率  0 - 100 W；0 - 300 W、2.45 GHz：功率 0 - 300 W、所有发生器均为 0 - 100.% 无级可调型。 其它选项：备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。Diener等离子清