LPE液相外延炉采用进口稳定可靠的智能仪表，能够实现整个工艺过程的自动控温。以进口直线电机为主体，系统定位且无抖动，加速度大能快速启动，可快速精准的将生长材料移动至下一个生长点。

    本设备采用“黄金”炉体加热，能够快速升温，恒温，降温。“黄金”炉体主体由石英管、电阻丝及刚玉组成，洁净度高，适合于IC、电子器件的快速退火、液相外延等工艺。系统配有真空系统，极限真空度1Pa。本底真空时间视工艺管路。可配置H2、N2、O2等工艺气体，带有自动连锁, 危险气体检测及尾气燃烧装置。