炉体温控控制在900到1300℃，温度高精度可控，VB具有晶体和加热炉体分别单独升降；HB水平高精度移动等控制，运动速度0.01--50mm/小时可调，有效完成砷化镓晶体生长。
炉体温控控制在900到1300℃，运动速度0.01--50mm/小时可调，使晶棒内部晶体重新排列。特点：炉体冷区和热区之间采用独特设计，可以达到15℃/cm的温度梯度。
LPE液相外延炉采用进口稳定可靠的智能仪表，能够实现整个工艺过程的自动控温。以进口直线电机为主体，系统定位且无抖动，加速度大能快速启动，可快速精准的将生长材料移动至下一个生长点。
青岛赛瑞达电子装备股份有限公司是集高新技术装备的研发、生产、销售为一体的专业厂家，产品覆盖半导体、光伏、LED、新能源、新材料等领域，公司于2005年注册成立，属于国家高新技术企业。 主要
