此设备采用开路电压衰减法设计，开路电压衰减法是测试少子寿命的一种方法。适合于测量PN结参杂区的少子寿命。被测的PN结P侧和N侧要分别形成欧姆接触。（测试的前题是必须形成PN结和欧姆接触）。测试PN结两端的电压波形，即可反映少子寿命的变化情况。
少子寿命测试范围：100nS—1mS；
测试样品规格：Φ6—Φ75；
少子寿命测试重复性：≤2%；
测试形式：自动测试；
测试方法：开路电压衰减法；

少子寿命测试是长基区少子寿命对器件的特性有一定的影响。通过监测少子寿命分析器件内部问题，对改善器件设计和工艺有一定的参考价值。