高压反偏设备<p>在设定电压（反偏电压一直加）下对22个器件的漏电流依次进行测试，两工位之间的测试时间间隔为10mS，22个工位测试完成后自动切换到下一组设定的电压条件下进行测试，直到测试文件中设定的所有电压测试条件完成后自动结束测试<br/>试验电压：直流电压50V～3000V <br/>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; 50V～1500V±3%±10V<br/>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; 1500V～3000V±3%±10V<br/>&nbsp;单工位测试电流：10nA-1mA<br/>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; 10nA～1000nA±3%±1nA<br/>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; 1uA～1000uA±3%±1Ua<br/>测试二极管规定反向电流下对应的电压<br/>&nbsp;&nbsp; 试验电流：1uA-200uA<br/>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp; 1uA～20uA±3%±0.1uA<br/>&nbsp;&nbsp