自动供酸系统供液系统内可同时放置多个化学品桶，各个桶之间可自动切换。该系统具有排除气泡和降低管道内压力波动的能力。该系统可实现清洗设备化学液的自动供液，减少人员接触化学品的几率，提高换液速率。自动供酸

自动供液系统供液系统内可同时放置多个化学品桶，各个桶之间可自动切换。该系统具有排除气泡和降低管道内压力波动的能力。该系统可实现清洗设备化学液的自动供液，减少人员接触化学品的几率，提高换液速率。自动供液

多晶硅硅料烘干设备该设备主要用于5-50mm不规则多晶硅块状小料的烘干。采用机械手自动抓取PP花篮，依次完成烘干、冷却等工艺流程，硅块烘干率达到100%，冷却后的温度≤35℃。多晶硅硅料烘干设备

全自动硅料烘干机该设备主要用于5-50mm不规则多晶硅块状小料的烘干。采用机械手自动抓取PP花篮，依次完成烘干、冷却等工艺流程，硅块烘干率达到100%，冷却后的温度≤35℃。全自动硅料烘干机

多晶硅硅料烘干机该设备主要用于5-50mm不规则多晶硅块状小料的烘干。采用机械手自动抓取PP花篮，依次完成烘干、冷却等工艺流程，硅块烘干率达到100%，冷却后的温度≤35℃。多晶硅硅料烘干机

多晶硅磁环清洗设备该设备主要用于多晶硅生产中的配套磁环的清洗。采用机械手自动抓取不锈钢花篮，依次完成碱洗、清洗、超声漂洗、切水、烘干等工艺流程，达到清洗后的硅块表面清洁光滑、无氧化物、无硅渣、表面无水

全自动磁环清洗机该设备主要用于多晶硅生产中的配套磁环的清洗。采用机械手自动抓取不锈钢花篮，依次完成碱洗、清洗、超声漂洗、切水、烘干等工艺流程，达到清洗后的硅块表面清洁光滑、无氧化物、无硅渣、表面无水珠

多晶硅磁环清洗机该设备主要用于多晶硅生产中的配套磁环的清洗。采用机械手自动抓取不锈钢花篮，依次完成碱洗、清洗、超声漂洗、切水、烘干等工艺流程，达到清洗后的硅块表面清洁光滑、无氧化物、无硅渣、表面无水珠

多晶硅硅芯清洗设备该设备主要用于硅芯、母料、区熔料、横梁等棒状料的清洗。采用龙门机械手自动抓取PVDF料笼，依次完成腐蚀、冲洗、超声漂洗、烘干等工艺流程，实现清洗后的硅料表面清洁光滑的清洗要求以及表面

全自动硅芯清洗机该设备主要用于硅芯、母料、区熔料、横梁等棒状料的清洗。采用龙门机械手自动抓取PVDF料笼，依次完成腐蚀、冲洗、超声漂洗、烘干等工艺流程，实现清洗后的硅料表面清洁光滑的清洗要求以及表面干

多晶硅硅芯清洗机该设备主要用于硅芯、母料、区熔料、横梁等棒状料的清洗。采用龙门机械手自动抓取PVDF料笼，依次完成腐蚀、冲洗、超声漂洗、烘干等工艺流程，实现清洗后的硅料表面清洁光滑的清洗要求以及表面干

全自动硅料清洗机该设备主要用于20-150mm不规则多晶硅块状料的清洗。采用机械手自动抓取PVDF花篮，依次完成腐蚀、清洗、超声漂洗、切水、烘干等工艺流程，达到清洗后的硅块表面清洁光滑、表面无水珠等工

多晶硅硅料清洗机该设备主要用于20-150mm不规则多晶硅块状料的清洗。采用机械手自动抓取PVDF花篮，依次完成腐蚀、清洗、超声漂洗、切水、烘干等工艺流程，达到清洗后的硅块表面清洁光滑、表面无水珠等工

全自动硅块清洗机该设备主要用于20-150mm不规则多晶硅块状料的清洗。采用机械手自动抓取PVDF花篮，依次完成腐蚀、清洗、超声漂洗、切水、烘干等工艺流程，达到清洗后的硅块表面清洁光滑、表面无水珠等工

多晶硅硅块清洗机该设备主要用于20-150mm不规则多晶硅块状料的清洗。采用机械手自动抓取PVDF花篮，依次完成腐蚀、清洗、超声漂洗、切水、烘干等工艺流程，达到清洗后的硅块表面清洁光滑、表面无水珠等工